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기치
172nm 엑시머 램프 모듈 반도체 웨이퍼 및 마스크 UV 세척 FMM/인바 필름 매팅
172nm excimer lamp module
172nm excimer surface treatment
PI film adhesion enhancement light
VUV contact angle reduction module
172nm cold UV light source
Mercury free 172nm light source

172nm 엑시머 램프 모듈 반도체 웨이퍼 및 마스크 UV 세척 FMM/인바 필름 매팅

나노 스케일의 유기 오염 물질을 제거합니다. 반도체 웨이퍼 UV 세척, FMM 미세 금속 마스크 세척, 인바 마스크 세척, OLED 증착 마스크 세척 및 포토마스크 세척, PCB UV 세척, 롤러 코팅 라인의 엑시머 UV 매팅 등에 널리 사용됩니다. 하마마쓰(Hamamatsu) 및 우시오(Ushio) 172nm 엑시머 램프를 대체할 수 있는 경제적인 제품입니다.
  • 모델 :

    MO-D330-6
  • 보증 :

    1 year
  • 1m 거리에서의 일사량 :

    >100 mW/cm²
  • 일률 :

    ±10%
  • 172nm 중심 조도 :

    >70 mW/cm² @3mm
  • 평균 사용 수명(조도 70% 이상) :

    2,500 hrs
  • 크기 :

    (350×350mm irradiation window)
  • 작동 습도 :

    20%~80%
  • 작동 온도 :

    -5°C~30°C
  • 총 전력 :

    1200W ±10%
  • 입력 전압(V) :

    AC 110~240V
  • GMY MO-D330-6 172nm 엑시머 램프 모듈

    중국 엑시머 램프 전문 제조업체로서

    우리의 장점

    • 01. 고객의 애플리케이션 요구사항에 맞춘 맞춤형 솔루션
    • 02. 디자인부터 생산까지 30~45일 소요
    • 03. 개발 비용 제로 | 단일 유닛 맞춤 제작 가능

    애플리케이션 전지

    Semiconductor wafer & Mask Cleaning

    반도체 웨이퍼 및 마스크 세척

    172nm VUV 광선은 산화력이 매우 강합니다. 웨이퍼 표면의 유기물 찌꺼기와 미세 입자를 분해하여 잔류물을 남기지 않습니다. 이는 정확한 반도체 제조를 보장합니다.

    OLED 및 디스플레이 패널 마스크 세척

    172nm 엑시머 램프는 고에너지 자외선을 방출합니다. 이 자외선은 OLED/디스플레이 패널 마스크의 불순물을 제거하여 픽셀 결함을 방지하며, BOE, TCL CSOT 생산 라인에 적합합니다.

    Organic particles & TOC Removal
    Film & Coating Production

    FMM, 인바, OLED 증착 금속 마스크 세척

    FMM 정밀 금속 마스크 세척용 UV 램프, 인바 마스크 세척용 172nm 엑시머 램프

    OLED 증착 마스크 UV 세척, 172nm VUV 금속 마스크 세척

    172nm VUV 광선은 마스크 표면의 유기물을 분해합니다. 마스크 구조는 손상되지 않으므로 정확한 픽셀 위치를 보장합니다. 이는 생산 수율을 직접적으로 향상시킵니다.

    필름 및 코팅 생산 엑시머 매팅 필름 생산 라인

    172nm VUV 롤러 코팅 시스템, 엑시머 UV 무광택 처리.

    172nm 엑시머 UV 광선은 필름 표면을 변형시켜 거친 질감을 만들어 무광택 효과를 내고 코팅 접착력을 향상시킵니다. 연속 롤러 코팅 공정에 적합합니다.

    Cold Plate & AI Server Cleaning

    주요 특징

    01 고강도 출력

    표면 조사 강도 > 100 mW/cm²; 70 mW/cm² (@3mm). 유기 오염 물질을 효율적으로 제거합니다.

    02 긴 서비스 수명

    프리미엄 전극 및 정밀한 가스 제어. 2500시간 이상의 기본 수명. 1000시간 품질 보증 (내구성 저하 포함) < 30% 할인. 전문가용으로 최대 3000시간 이상 사용 가능.

    03 탁월한 균일성

    조사 창 크기 350×350mm, 균일도 ±10%. 창 크기는 고객 요구사항에 따라 맞춤 제작 가능합니다.

    04 즉시 작동

    예열이 필요 없이 즉시 시동됩니다. 고주파 작동 및 롤투롤 롤러 코팅 시스템을 지원합니다.

    05 높은 적응성

    -5°C ~ 30°C의 온도 범위에서 안정적인 작동을 보장하며, 클린룸 및 온도 조절 구역에 적합합니다.

    06 유연한 통합

    다양한 생산 설비와 호환됩니다. 신속한 납기 및 개발 비용 제로로 맞춤형 솔루션을 제공합니다.

    07 무수은 광원

    172nm 파장의 무수은 자외선 광원을 사용하여 안전성과 환경 보호를 보장합니다.

    08 전문적이고 신뢰할 수 있는

    30년 이상의 UV 조명 분야 및 장비 제조 경험을 바탕으로 대규모 생산 능력, 높은 제품 일관성, 안정적인 성능, 신뢰할 수 있는 정시 납품을 보장합니다.

    인증 및 규정 준수

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    인증된 품질 관리 시스템을 통해 최상의 제조 기준을 보장합니다.

    CE Certified Declaration
    CE

    CE 인증

    유럽의 보건, 안전 및 환경 보호 법규를 완벽하게 준수합니다.

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    ROHS 규정 준수

    유해 물질이 전혀 없는 친환경 제조 방식입니다.

    UL Safety Certificate
    UL

    UL 인증

    북미 최고 수준의 전기 보안 및 화재 예방 규정 준수 표준입니다.

    자주 묻는 질문

    Q 172nm 엑시머 램프의 작동 원리는 무엇입니까?

    172nm VUV 엑시머 램프는 기체 방전을 통해 고에너지 진공 자외선을 발생시킵니다. 이 램프는 일반적인 유기 분자의 결합 에너지를 훨씬 뛰어넘는 높은 광자 에너지를 특징으로 합니다.

    빛은 강력한 분자 결합 파괴 능력을 통해 유기 오염 물질을 직접 분해합니다. 또한 반응성 산소종을 생성하여 세척 및 총 유기 탄소(TOC) 제거 효과를 향상시킵니다.

    신뢰할 수 있는 우시오 엑시머 램프 대체품 및 하마마츠 172nm 대체품으로서 반도체 세척, 냉각판 세척, CDU 및 UPW 수처리, 필름 매팅 및 기타 산업 분야에 적합합니다.

    Q GMY를 선택해야 하는 이유는 무엇일까요?

    1. GMY는 UV 램프 연구 개발 및 생산 분야에서 30년의 경험과 탄탄한 기술 전문성을 보유하고 있습니다.
    2. 당사는 고객의 실제 적용 요구사항에 부합하는 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
    3. 빠른 납기: 설계부터 완제품까지 30~45일.
    4. 개발 비용이 전혀 들지 않으며, 단 한 대 주문이라도 맞춤 제작이 가능합니다.

    Q 이 장치는 여러 응용 시나리오에 사용할 수 있습니까?

    네. 반도체 웨이퍼, PCB 및 다양한 마스크 세척은 물론 필름 매팅 및 롤러 코팅 공정도 지원합니다. 용도에 따라 약간의 조정만 필요합니다.
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문의하기 :jwtan@gmyok.com