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172nm 엑시머 램프 모듈 반도체 웨이퍼 및 마스크 UV 세척 FMM/인바 필름 매팅
나노 스케일의 유기 오염 물질을 제거합니다. 반도체 웨이퍼 UV 세척, FMM 미세 금속 마스크 세척, 인바 마스크 세척, OLED 증착 마스크 세척 및 포토마스크 세척, PCB UV 세척, 롤러 코팅 라인의 엑시머 UV 매팅 등에 널리 사용됩니다. 하마마쓰(Hamamatsu) 및 우시오(Ushio) 172nm 엑시머 램프를 대체할 수 있는 경제적인 제품입니다.
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