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그만큼 172nm MINl 엑시머 모듈 이 제품은 컴팩트하고 플러그 앤 플레이 방식의 데스크톱 솔루션입니다. 반도체 연구개발 그리고 실험실 검증이 기술은 단파장 진공 자외선(VUV)을 방출하여 분자 결합을 절단함으로써 유기 오염 물질을 제거하고 기판 손상 없이 표면 에너지를 변경하여 연구실과 대학에 신속한 공정 검증 플랫폼을 제공합니다.
모델 :
EX-D75-1중심 복사조도(@1mm) :
>10mW/cm²조사 균일성 :
±10%90% 생산량 달성 시간 :
≤5 seconds평균 램프 수명 :
>1000 hours냉각 방식 :
Air cooling모듈 크기(길이×너비×높이) :
209×142×69 mm창문 개구부 크기(가로×세로) :
75×50 mm
연구 개발팀은 EX-C300을 사용하여 다이 접착, 플립칩 및 하이브리드 본딩 표면 활성화를 위한 최적의 172nm VUV 매개변수(노출량, 작동 거리 및 사이클 시간)를 조정합니다. 벤치탑형 장비는 반복 가능한 표면 에너지 데이터를 제공하여 생산 단계로 넘어가기 전에 검증된 본딩 레시피를 구축할 수 있도록 지원합니다.
연구진은 ALD, CVD 또는 PVD 공정 전 청결도 기준을 설정하기 위해 172nm VUV 광자를 이용하여 패턴이 없는 웨이퍼와 패턴이 있는 테스트 웨이퍼를 처리합니다. 40°C 미만의 저온 환경에서 작업하므로 열 예산 관련 위험을 제거할 수 있으며, 처리 후 XPS 및 접촉각 데이터를 통해 공정 검증에 필요한 최소 유효 조사량을 정의할 수 있습니다.
EX-C300은 순수 광화학적 산화 방식을 통해 미세 금속 마스크 및 포토마스크의 유기 오염물을 제거합니다. 접촉이나 화학 물질 사용 없이 잔류물도 남지 않습니다. 반복적인 시험을 통해 나노미터 크기의 마스크 패턴이 손상되지 않고 유지됨을 확인했으며, 이를 통해 생산 적용을 위한 안전한 누적 노출량 및 사이클 한계를 설정했습니다.
필름 및 배터리 연구 개발 연구소에서는 제어된 172nm 파장 노출을 통해 고분자 필름(PET, PI, COP)과 전극 포일을 처리한 후 접촉각 감소 및 접착력 향상을 측정합니다. 이 저온 광자 공정은 민감한 재료에 열 손상을 방지하며, 얻어진 데이터는 생산 공정에 직접 반영됩니다. 즉, 실험실 연구가 생산 공정 이전에 이루어지는 것입니다.
컴팩트하고 가벼운 디자인으로, 데스크탑에 바로 설치하여 사용할 수 있는 플러그 앤 플레이 방식입니다.
고강도 172nm UV 출력, 5초 만에 안정적인 점화.
균일한 조사량으로 일관되고 신뢰할 수 있는 처리 결과를 제공합니다.
공랭식이며, 외부 냉각 시스템이 필요하지 않습니다.
맞춤형 애플리케이션 솔루션과 계약 기반 실험 서비스를 이용할 수 있습니다.
인증된 품질 관리 시스템을 통해 최고 수준의 제조 기준을 보장합니다.
유럽의 보건, 안전 및 환경 보호 법규를 완벽하게 준수합니다.
유해 물질이 전혀 없는 친환경 제조 방식입니다.
북미 지역의 엄격한 전기 절연, 접지 및 작동 안전 기준을 충족합니다.
초순수(UPW) 시스템용으로 설계된 이 제품은 친환경적이며 수은이 함유되어 있지 않습니다. 172nm VUV 모듈 강력한 라디칼 산화 반응을 일으켜 총 유기 탄소(TOC)를 ppb 수준까지 낮춥니다. 유기 화합물을 미량의 CO₂와 H₂O로 변환하여 반도체, 제약 및 실험실에 이상적인 수처리 솔루션을 제공합니다. 스마트한 모듈식 설계로 현장 유지보수 및 시스템 확장이 간편하며, 사용자 지정 전력 및 유량 설정을 완벽하게 지원합니다.
GMY 제품으로 표면 처리 정밀도를 향상시키세요 172nm 엑시머 램프고급 기술을 활용하여 광화학적 산화당사의 무수은 172nm UV 광선 솔루션은 유기 오염 물질을 효과적으로 분해하여 반도체 웨이퍼, 디스플레이 기판 및 광학 장치에서 원자 수준의 청결도를 달성합니다.
GMY의 고효율을 경험해 보세요 172nm 엑시머 램프 ~을 위한 산업용 광경화무수은, 강력한 350W~1000W VUV 광선을 사용하여 신속한 표면 가교, 무광 마감 및 PPF/PCB 코팅 개질을 구현합니다. 기존 UV 경화 방식에 비해 경화 시간을 단축하고 표면 개질 효과를 향상시킵니다.
그만큼 GMY 172nm 광변형 모듈 본 모듈은 치과 임플란트의 친수성 활성화를 위한 최고의 진공 호환 솔루션입니다. 정밀한 172nm 엑시머 기술을 통해 유기 탄화수소를 분해하여 티타늄 표면을 정화함으로써 TiO2의 생체 활성 및 골융합을 획기적으로 향상시킵니다. 원활한 장치 통합을 위해 설계된 이 모듈은 높은 출력, 최소한의 열 영향, 빠른 반응 속도, 그리고 광범위하고 균일한 빔 조사 범위를 자랑합니다.
GMY 172nm 엑시머 램프 고에너지 VUV 방사선을 제공합니다 TOC를 분해하다 초순수에서 ppb 수준까지 유해 물질을 제거합니다. 산업용수 처리에 적합한 무수은 15W/20W 램프를 사용합니다. 당사의 UV 광 시스템은 자유 라디칼을 생성하여 유기물을 CO₂와 H₂O 분자로 산화시킵니다. 이 첨단 기술은 초순수 생산에 특히 적합합니다.
그만큼 172nm 엑시머 UV 장치 배달합니다 고에너지 광세척 그리고 나노 수준 표면 개조 반도체, 배터리 및 첨단 소재 분야에 사용됩니다. 172nm의 차가운 자외선 광자를 활용하는 이 소형 시스템은 기판 손상 없이 유기 화학 결합을 끊고 오염 물질을 산화시킵니다. 높은 균일성을 제공합니다. ±15% 작동 온도가 40°C 미만이므로 기존의 저압 수은 램프를 대체할 수 있는 친환경적이고 에너지 소비가 적은 대안을 제공합니다.
